张紫辰：研究员、英国剑桥大学博士，现任中科院微电子研究所微电子仪器设备研发中心副主任、昆山分所副所长，从事激光微米纳米加工技术及应用研究，2019年获评中科院北京分院“启明星”复合人才。

　　半导体、集成电路和芯片产业被誉为新世纪国家工业的皇冠，以光刻机为代表的高端集成电路制造设备被誉为工业皇冠上的明珠。

　　此前，国家相关规划中明确指出将“推动集成电路及专用装备发展”作为重点突破口。在这样的时代背景下，中科院微电子研究所（以下简称微电子所）微电子仪器设备研发中心研究员张紫辰带领团队，面向国家重大需求，致力于集成电路封装设备核心技术研发和产业化推进，取得了一系列的创新成果，研发的多种半导体激光加工设备，成功地应用于多个领域电子装备的生产研制工程和型号中，在西方严密封锁的技术链条上，寻找到了突破口，闯出了一片天地。

　　科技报国，锐意进取开先河

　　在集成电路产业这个没有硝烟的特殊战场上，国产半导体行业的艰难时势，唤醒了张紫辰的科学强国之梦。

　　在获得英国剑桥大学博士学位后，张紫辰毅然决然地放弃了在剑桥的舒适工作，回到祖国，积极投身国家重点科研领域。

　　自2016年入职微电子所后，张紫辰瞄准国家集成电路重大装备的迫切需求，组建了激光应用系统集成课题组，发挥自身在光电子技术和微电子技术的专业优势，带领团队开展激光微米纳米加工技术及半导体设备整机的研发。

　　半导体产业的进步离不开集成电路设备的创新。一条集成电路生产线中设备投资所占的比率高达80%，需要综合运用多学科的科学技术，其研发和生产制造难度极大。

　　张紫辰直面问题、迎难而上，带领团队攻克了高精度平台随动技术，实现了硅、化合物、复合材料体系的多种激光微米纳米深加工。

　　针对研发生产和应用中的“卡脖子”技术，团队经过与国内相关单位研讨交流、反复试验，形成产品一致性的工艺技术规范，从而固化了设备级产品的关键共性技术，从国外严密的技术封锁中找到了“突破口”，形成了行之有效的产品研发应用的一整套技术路线和整体解决方案，为制造具有完全自主知识产权的国产化半导体激光加工设备打下了坚实的技术基础。

　　创新机制，加速成果转化应用

　　张紫辰始终坚持科研攻关、产品研制与成果转化应用同时部署、多管齐下。他十分注重由单项技术产品攻关向建立多技术融合共性技术攻关的固化拓展，从设计理论模型开始研制建立设备产品级的一揽子整体解决方案。

　　张紫辰基于激光微米纳米加工技术定型了“激光开槽”“激光划片”“激光退火”“激光焊接”等四款半导体激光加工设备，第一时间交付相关用户试用，力争快速、及时地收集来自用户的第一手反馈信息，针对性地就跨界应用中出现的技术、工艺、设计原理方案、使用方案等进行修改完善，极大缩短了研发—应用周期。这一有效的互动合作模式得到用户的一致好评。

　　研发形成的激光微米纳米加工这一共性技术，部署在“材料界面态缺陷检测”等研究应用领域，成为该领域重要技术分支。这对于国产芯片制造工艺共性技术推广应用和专业设备研制的创新发展，具有基础性和前瞻性的意义。

　　勠力同心，甘于奉献写真情

　　张紫辰经常说：“科研一线的年轻党员，必须具备爱岗敬业、为国奉献的精神。只有加强学习，才能时刻保持党性不衰。作为团队的领头羊，既要对专业领域进行前瞻性技术和市场的规划布局，又要团结一致，凝心聚力。只有时时想着大家，才能让同伴们感受到整个团队的温暖和力量，才能增强我们的凝聚力，共同在国家重大科研一线攻坚克难，快速成长。”

　　在同事的眼里，张紫辰是大家心中的热心肠好伙伴、好领导和好同事。他注重培养团队成员的业务能力，积极主动将团队成员推荐至国际知名学术机构、企业进行访学；他随身带着笔记本，装满了业务和政策信息等资料。每天记录摘抄政策规划和行业技术发展动态。在他的影响下，团队上下形成了爱学习、勤思考、齐努力、讲奉献的良好风气。

　　一个时代有一个时代的主题，一代人有一代人的精神追求，但不变的是科技工作者对国家的一颗奉献之心。张紫辰作为新时代青年科研才俊，秉承着老一辈科技工作者的优良传统，将自己的命运与国家和民族振兴紧紧联系在一起，在科技强国的新征程中不断进取、勇攀高峰。

　　（作者：岳嵩，中科院微电子研究所微电子仪器设备研发中心）