中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工平台主任、研究员，曾先后担任科技部“光电子与微电子器件与集成”重点研究计划专家组成员、国家科技进步奖评审专家，长期从事半导体材料生长和器件加工工艺研究。

　　作为关键核心技术，芯片被誉为一个国家的“工业粮草”，是整机设备的“心脏”，芯片技术也从某种程度代表了一个国家的信息技术水平。

　　中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（以下简称苏州纳米所）研究员张宝顺深知这颗“心脏”的重要。于是，他积极投身相关领域研究，为中国“芯”注入科技力量。

　　忘我拼搏，打造科研“新硅谷”

　　近年来，中国电子信息产业整体规模高速发展，但关键核心技术受制于人的局面没有得到根本性改变，“卡脖子”问题倒逼中国“芯”走上自主研发之路。

　　张宝顺深知肩上使命和责任的分量，2006年，他受邀加入苏州纳米所，从零起步，投身纳米加工平台建设。

　　“我们平台的使命，就是跟众多企业、研究院所合作，大家共同努力，把核心的芯片国产化，并实现自主可控，减少我们对国外的依赖。”张宝顺说。

　　筹建之初，张宝顺带着团队，以“5+2”“白加黑”“非常6+1”的拼搏精神，亲自动手搭建、研发仪器设备，从方案设计到全线贯通，每个环节都紧密跟进、严格把控。

　　2009年1月，在张宝顺团队的努力下，纳米加工平台正式对外开放，全面投入运行，并迅速成长为科研院所及中小企业创新孵化的摇篮，架起了科学研究与市场需求的桥梁。

　　10余年来，张宝顺扎根苏州工业园区，负责建设和运行纳米加工平台。他带领团队建成了全面开放的集纳米加工、工艺测试、器件封装于一体的国内最大多功能公共服务平台。该平台现有超净间面积10000平方米，包含6英寸MEMS、GaN基、SiC基和GaAs基芯片加工线及我国第一条8英寸面向5G应用的氮化铝滤波器工艺线。

　　该平台完备的软硬件技术支撑体系和独具特色的高水平技术服务，吸引集聚了一大批创业领军人才和高新技术企业落户园区，增强了周边企业自主创新能力，提升了园区纳米技术产业整体发展环境，助力园区形成了科技“新硅谷”。

　　目前，该平台每年支持数百家企业进行创新产品开发，合作的高校研究院所团队近200个，为企业产品研发及转型升级、国家和地方重大科研任务完成提供了坚实的技术支撑。其中客户之一的苏州敏芯微电子技术有限公司，在该平台协助下突破了多项关键技术工艺研发，解决了CMOS电路与MEMS芯片进行单一芯片集成的关键技术难题。

　　苦练内功，实现微纳芯片新突破

　　关键核心技术攻关，还是要在关键领域基础研究上下功夫。

　　多年来，张宝顺承担了国家“973”课题、国家自然科学基金委员会重大计划、江苏省产学研联合创新等科研项目数十项。他参与的国家级重点项目“半导体激光泵浦固体激光器”2000年获国家科技进步奖三等奖；带领团队率先在国内研制出基于相干布居数囚禁原理（CPT）的低功耗物理系统芯片，基于该成果合作开发了我国第一个芯片原子钟样机，打破了美国的技术垄断；开发了基于氢等离子体钝化的增强型氮化镓电力电子器件，在此方面工作处于国际先进水平；团队成果“面向未来的GaN基HEMTs高频开关器件研制与应用”在2018年第一届“率先杯”未来技术创新大赛中获最高奖项。

　　一项项成果和奖项的背后是张宝顺和团队日夜的奋斗。

　　有一次张宝顺到北京出差，在火车上突然眼睛看不见了，到医院检查后发现是视网膜出血导致的暂时失明。

　　然而由于工作太忙，张宝顺的眼疾一直拖了几个月才做了手术。医生叮嘱，术后最好不用电脑、不看手机，可放心不下工作的张宝顺，复工后，仍是一天未休。

　　不断超越，推动关键技术人才培养

　　在张宝顺看来，创新人才是第一资源，谁拥有了一流创新人才，谁就能在科技创新中占据优势。

　　然而，半导体行业人才严重缺乏，对此张宝顺深有感触：“我们都是打着灯笼在全国甚至全球去找，才组建了现在100多人的大团队，这是我们最宝贵的资源。”

　　为打造纳米技术人才培训高地，纳米加工平台积极响应区域产业发展对人才的新要求，主动对接地方政府和企业，承担了一系列高技能培训项目和企业紧缺人才培训项目，连续举办高技能人才职业技能竞赛，推动关键技术人才的培养和储备。

　　迄今为止，张宝顺已经培养了一支160余人的包括项目研发、工艺技术开发、技术培训、平台运行管理，以及设备开发、维修维护人员在内的专业人才队伍。其中，从应届毕业生成长为“中科院关键技术人才”“苏州市劳动模范”“苏州市青年岗位能手”或“苏州工业园区高技能领军人才”的团队成员逾50人。

　　“以科技助力中国芯”，通过纳米加工平台一流的对外技术服务，更好地发挥国家战略科技力量的科技引领作用，促进核心芯片国产化、设备国产化，实现自主可控，尽早摆脱对国外的依赖，这就是张宝顺奋力书写的新时代答卷。

　　（作者：王英，系中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所）